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  • 产品名称:OTSUKA大冢- 显微分光膜厚计

  • 产品型号:OPTM series
  • 产品厂商:OTSUKA大塚电子
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简单介绍:
OPTM series OTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM seriesOTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM seriesOTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM series
详情介绍:

OPTM series
   OTSUKA大冢- 显微分光膜厚计


利用显微分光的微小领域的**反射率测量,高精度的膜厚·光学常数解析可能的装置。
各种薄膜、晶片、光学材料等涂层膜的厚度和多层膜可以非破坏、非接触测量.。测定时间是能够进行1秒/point的高速测定的,即使是初次测定的,也搭载了能够简单解析光学常数的软件。

特长:
OTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM seriesOTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM seriesOTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM seriesOTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM seriesOTSUKA大冢- 显微分光膜厚计OPTM series
将膜厚测量所需的功能集中在头部!

高精度的**反射率测量(多层膜厚,光学定数)

1点1秒以内的高速测量

在显微镜下实现广阔的测量波长范围的光学系统(紫外线-近红外线)

区域传感器的**机构

即使是**次进行光学定数解析的轻松解析危机

可定制测量序列的宏功能

对应各种定制

試料の形状・部位に応じて容易に測定シーケンスをカスタマイズ可能


仕様

仕様

OPTMの仕様

 

構成図

OPTMの構成図(自動XYステージタイプ)
自動XYステージタイプ

測定項目
  • 絶対反射率測定
  • 膜厚解析
  • 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)

反射率



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