企业信息
第8年
- 入驻时间： 2017-03-06
- 联系人：张婧
- 电话：0512-67089211
-
联系时，请说明易展网看到的
- Email：suz@tamasaki.com.cn
- Stucchi思多奇
- NITTO KOHKI日...
- Sankei
- KYOWA协和工业
- DIT东日技研
- AITEC艾泰克
- SIGMAKOKI西格玛...
- REVOX莱宝克斯
- CCS 希希爱视
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北阳电机
- SSD西西蒂
- EMIC 爱美克
- TOFCO东富科
- 打印机
- HORIBA崛场
- OTSUKA大冢电子
- MITAKA三鹰
- EYE岩崎
- KOSAKA小坂
- SAGADEN嵯峨电机
- TOKYO KEISO东...
- takikawa 日本泷...
- Yamato雅马拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
- SENSEZ 静雄传感器
- marktec码科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
- Sugiyama杉山电机
- Osakavacuum大...
- YAMARI 山里三洋
- ACE大流量计
- KEM京都电子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA东京理化
- ANRITSU安立计器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson诺信
- PISCO匹斯克
- NS精密科学
- NDK 日本电色
- 山里YAMARI
- SND日新
- Otsuka大塚电子
- kotohira琴平工业
- YAMABISHI山菱
- OMRON欧姆龙
- SAKURAI樱井
- UNILAM优尼光
- ONO SOKKI小野测...
- U-Technology...
- ITON伊藤
- chuhatsu中央发明...
产品详情
简单介绍：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统
*多可以快速映射12inch晶片OTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3Rθ
详情介绍：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统
特长:
快速提供晶片内部的厚度信息。
支持多点映射测量。
*高可测量Φ300mm晶片的面内厚度。
用于半导体工艺装置(例如晶片磨削装置和临时键合器)。
内置支持
測定項目
- シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
- テンポラリーウェーハ
スペック
|
|
|
|
構成図
測定例
■貼り合わせウェーハ（Si/ボンディング/サポート基板）
|
|
Si膜厚分布（約775μm） |
|
| ボンディング膜厚分布（約15μm） |
OTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圆厚度映射系统SF-3Rθ
