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第8年
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产品详情
简单介绍:
半导体参数测试仪与MM探针台
半导体参数测试仪与MM探针台支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等
详情介绍:
Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台
主要技术指标
探针台:
1.探针台主机:卡盘XY运动范围200mm*200mm,Z轴运动范围25mm
2.丝杆轴承确保高精度移动,分辨率3.5um
3.针座:精度0.7um
4.加热台: 温度范围室温-400℃
半导体参数测试仪
1.直流I-V测试:
具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同时测量zui小电压分辨率0.5μV、zui小电流分辨率0.1fA
2.C-V测试:频率1KHz-5MHz;偏置电压:±25V;测量精度±0.2 %3.可实现C-V和I-V测量间自动切换,不会影响测量精度
4.脉冲IV:
提供两路快速IV/脉冲输出,具有任意波形产生功能
zui小脉冲宽度:50ns;脉冲电平范围:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω负载);电压测量精度:±0.1%读值, ±0.1% 量程;电流测量精度:±0.1% 读值, ± 0.2% 量程
主要用途
支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等。
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