北京华测试验仪器有限公司

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先进功能材料电学综合测试系统、绝缘诊断测试系统、高低温介电温谱测试仪、极化装置与电源、高压放大器、PVDV薄膜极化、高低温冷热台、铁电压电热释电测试仪、绝缘材料电学性能综合测试平台、电击穿强度试验仪、耐电弧试验仪、高压漏电起痕测试仪、冲击电压试验仪、储能材料电学测控系统、压电传感器测控系统。

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第8年

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简单介绍：

卧式低压化学气相沉积炉管卧式低压化学气相沉积炉管用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。

详情介绍：

卧式低压化学气相沉积炉管

产品简介

用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。

主要技术指标

炉管1：N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉积工艺

气体：高纯N2、SiH4、PH3

炉管2：低应力氮化硅，氮氧化硅薄膜

气体：高纯N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

温度：700-900 °C

硅片尺寸：3英寸、4英寸、6英寸圆片；50片/炉

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产品名称：卧式低压化学气相沉积炉管