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高性能载气式液体汽化器MV/2000Series四川成都重庆西崎商社区域销售

高性能载气式液体汽化器 MV-2000 Series

高性能载气式液体汽化器 MV-2000 Series
  • 概要
  • 規格

概要

MV-2000系列实现高效的汽化，即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺，诸如“High-k”——一种易热解的液体源

特征

  • 以螺旋加热式完成稳定的低温汽化
  • 大流量汽化（增加稳定性数据）
  • 可汽化易热解的液体源

制造: HORIBA STEC

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