特点：
1.0.1μm的对象粒子捕集效率99.9995（5 N 5）以上的ULPA 2，重量轻，容易安装，交换作业。
规格：
型号
尺寸(mm) 竖×横×深
定格风速 (m/s)
定格风量 (m3/min)
圧力损失(Pa)
捕集效率 (%)
製品质量 (kg)
初期
*終
ATMML-10-E38
610 × 610 × 98
0.5
10.0
103
294
99.9995 at0.1-0.15μm
5.0
ATMML-20-E38
610 × 1220 × 98
20.5
9.0
ATMML-10-E23
610 × 610 × 75
108
4.5
ATMML-20-E23
610 × 1220 × 75
8.0
ATMML-10-E41
610 × 610 × 65
128
99.999 at0.1-0.15μm
4.0
ATMML-20-E41
610 × 1220 × 65
7.5
ATMML-7-E25
610 × 610 × 50
0.35
7.0
3.5
ATMML-14-E25
610 × 1220 × 50
14.5
6.0
注1）下侧带网也可对应(同样性能)以上尺寸以外的尺寸也可以制作
性能：
粤公网安备 51012402000291号
