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产品资料

西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器(光致抗蚀剂溶液相应) KS-41A

西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器(光致抗蚀剂溶液相应) KS-41A
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  • 产品名称:西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器(光致抗蚀剂溶液相应) KS-41A
  • 产品型号:KS-41A
  • 产品展商:RION日本理音
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简单介绍
西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器(光致抗蚀剂溶液相应) KS-41A 西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器(光致抗蚀剂溶液相应) KS-41A
产品描述

液中パーティクルセンサ KS-41A (フォトレジスト溶液対応)

 

  • 0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やSOGなどから測定可能。
  • *小可測粒径0.15μm、定格流量10mL/min。
  • 粒径区分 (4段階、出荷時)。 0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上
  • 液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力。
  • 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能。 (KE-40B1の機能による)
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