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产品资料

日本日立HITACHI日立半导体蚀刻系统，成都强势供应

日本日立HITACHI日立半导体蚀刻系统，成都强势供应
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：日本日立HITACHI日立半导体蚀刻系统，成都强势供应
  • 产品型号：9000系列
  • 产品展商：日立HITACHI
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简单介绍
日本日立HITACHI日立半导体蚀刻系统，成都强势供应 日本日立HITACHI日立半导体蚀刻系统，成都强势供应
产品描述
日本日立HITACHI半导体蚀刻系统9000系列  的详细介绍
  1. 新的9000系列的串接式平台，其模组腔室设计，可以提供制程使用的弹性以及未来的扩充性。
  2. 有助于顺利过渡到未来450mm晶圆用设备的平台和用户界面标准化整合。
  3. 9000系列平台采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等离子体蚀刻腔室，已经过大批量生产的考验。


应用晶圆直径 300mm
装置构成 9 chambers (max.)
※
部分规格会与照片不一样。


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