下一代清洗技术，实现低损害和高清洁度
2006年，石英振动体超声清洗装置投入实际使用。 在这种方法中，通过在振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。 与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，由于只有石英玻璃与液体接触，没有垫片等橡胶材料与液体接触，因此能保持较高的清洁度。 石英振动体有不同的形状，以适应不同的用途，能够根据需要进行有效的清洗，如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘表面）和缺口（晶圆边缘表面的缺口）的清洗等
粤公网安备 51012402000291号
