电子显微镜,简称电镜,英文名:Electron Microscope(EM),广泛运用于生物技术的研究。因电镜要求有极高的分辨率及放大率,所以电镜的使用环境对振动要求非常高,特别是在20Hz以下的振动对电镜的干扰影响特别明显。
图1 电镜放置在Table Stable TS-300主动隔振台上
图2 电镜放置在被动气浮隔振台上
图1、图2是由同一台扫描电子显微镜(SEM)在高分辨率(均为30万倍)成的像。由图2可知,由于气浮隔振台或者其它实验室光学在低频的隔振效果不理想,低频的振动使电镜成像的分辨率及清晰度明显下降,水平方向产生了很明显的毛刺。
为了提高电镜研究的成效,使用者必须采取适当的措施来隔离环境振动对电镜成像的影响,一般使用主动隔振光学平台,因为其谐振频率低于1Hz,2~10Hz的减振效果可达到-10~-22dB,非常满足各种电镜的使用条件。
本文推荐使用Table Stable TS series主动隔振台:
图3 瑞士Table Stable TS series主动隔振台
TS series主动隔振台的主要特性:
6个自由维度隔振,主动隔振频率:0.7~200Hz,被动隔振频率:200~1000Hz;
传输率:超过10Hz<0.01(-40dB)
系统噪声:小于20nG/√Hz (所有方向0.1-200 Hz内);
静态柔度:垂直方向: 约12 μm / N,水平方向: 约30 - 40 μm/ N。
图4:TS series主动隔振台传输率
TS series主动隔振台的工作原理如图5所示:
图5:原理图
每台TS series主动隔振台都至少含有6个陶瓷压电传感器,可以感应6个自由维度的振动,传递到控制电路,由控制电路计算出振动的位置及频率转换成电信号传输给执行器音圈马达,由执行器音圈马达产生频率相同,方向相反的振动抵消外界的振动,以达到隔振的目的。
目前成功使用的Table Stable主动隔振台为电镜隔振取得理想效果的案例有:
南京大学13楼实验室日立SU8010 场发射电镜、国家纳米中心、中科大的AFM、以及国家授时中心、华科大的FP腔做超稳激光等等。
广州市固润光电科技有限公司专业代理瑞士 Table Stable主动隔振台,目前以跟国内大部分高校、研究所合作,提供主动隔振/减震方案。
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