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超纯水工艺流程

超纯水工艺流程
 

原水 → 原水箱 → 原水泵→ 加絮凝剂装置→ 双介质过滤器 → 活性炭过滤器
→板式换热器→加阻垢剂装置→5μm保安过滤器 →**高压泵 → **反渗透膜组
→ 加碱装置→ 二级高压泵 → 二级反渗透膜组 → 中间水箱 →中间水泵→
紫外线**灯→去TOC紫外灯 → 脱氧膜组 → EDI装置 → **抛光混床
→ 超纯水箱→ 超纯水泵→ 板式换热器→二级去TOC紫外灯→二级脱氧膜组
→ 增压泵 → 二级抛光混床 → 终端过滤器 → 超纯水使用点。