一���化微流体泵的制作方法

   本实用新型属于生物医学微流体元器件，特别涉及微流体泵。

   一般的生物医学分析包括样品预处理、混合反应和分离检测三个基本步骤，将这三个分析步骤集成在一个微流体分析系统中，以代替传统的实验室工作，这就是实验室芯片(Lab-on-a-chip)或者叫微型全分析系统(Micro Total Analytical System，μTAS)。这种微流体系统由微流体泵、微阀、微控制器、微混合反应器、毛细管电泳等微流体元器件以及连接它们的微流体通道网路组成。生化分析是流体在微系统中连续流动过程中完成的，微流体泵是提供液体连续流动的动力元件。

   机械式微泵有压电、静电、热驱动、气动、超导和记忆合金等多种形式，其中压电微流体泵应用*广，其压电片在交变电场作用下驱动硅膜周期性振动，进而改变泵腔的体积和压强，在控制阀的引导下，驱动流体产生定向流量。早期的有阀微流体泵制造复杂，寿命短，成本高。无阀微流体泵采用微扩散管代替可关闭的控制阀门，它*大程度地减少可动的机械部件，由于微扩散管两个流动方向的流体能量变化规律和流动阻力不同，扩散方向的流体流量大于收缩方向的流量，一个周期的平均流量不为零，这使得无阀压电微流体泵具有定向导流能力。微泵进出口无需压强差。由于其结构简单、运行可靠、易加工、成本低的优点，无阀压电压电微流体泵在微分析系统中大量使用。