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低温真空泵的应用与产品特点
低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
产品特点:
1、极高真空度,本系列低温泵均可达到10-7 Pa的极高真空度,高可达10-9 Pa极限真空度。
2、无油无污染,利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空 。
3、气体抽速大,气体抽速大,排气速度快。
4、运行费用低,只需电力和冷却水保障,无需液氮等低温液体,操作简单,性价比高。
5、可靠性高, 无运动部件,低速运行,寿命长;外界干扰和系统内微粒不影响低温泵工作。
6、安装友好,可以安装在任何方位。
尊敬的客户:
您好,我司是一支技术力量雄厚的开发群体,为广大用户提供完整的解决方案和技术服务。主要产品有液氮深冷箱、液氮设备、氮气设备等。本企业坚持以诚信立业、以品质守业、以进取兴业的宗旨,以更坚定的步伐不断攀登新的高峰,为民族自动化行业作出贡献,欢迎新老顾客放心选购自己心仪的产品。我们将竭诚为您服务!
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