产品详情
简单介绍:
该设备主要是用于半导体材料、纳米材料、光线材料等在氢气保护下的各种复杂工艺,具有多种工艺气体的流量控制。是科研、数学、生产、新材料研发的重要设备。
详情介绍:
设备简介:
氢气炉用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压库和实现自动控制。采用进口压力控制系统,闭环控制、稳定性高。采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门确保气路气密性。具有完善的报警功能及**互锁装置。具有良好的人机界面,灵活的工艺性能。
主要技术参数:
氢气炉的控制精度:±1℃,工作温度:800-1700℃,温度均匀性:±5℃,保护气体:H2、N2。*大真空度:-0.1Mpa,炉膛尺寸:160×166马蹄形管(可定制),电网电压:380V±10%,*大功率:≤80KW,炉门、进出料口材质:310不锈钢。冷却系统分置:出料口及加热炉体两侧微电脑控制,操作方便,可编程,自动升温,自动保温,自动降温。报警功能:超温报警、断水报警、断电保护,温控方式:自动/手动。进料方式:电动/手动,可通多种气体(氧气、氮气、氩气、氢气等)。
备注:可选配系统:1、自动泄压进气系统;2、混气供气系统;3、真空机组;4、USB接口,无纸记录仪,随机打印系统;5、坩埚;6、进口1900型材料。
备注:我公司可定制各种非标气氛管式炉,不同炉膛尺寸、不同温度范围内的箱式炉,气氛炉,管式炉,真空炉等。欢迎来电洽谈。