产品描述
退火炉，是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片、新区式炉。该炉采用1900型硅钼棒作为发热体和本公司砖利氧化锆内衬炉膛。可在1700℃连续使用，*高温度达1800℃。侧开式炉门，易于样品装载，并可加装通气口，可在氧气或惰型气氛下操作壳体结构，炉膛内部温度稳定度达±1℃，*高温度为1800℃。真空系统采用特种设计，具有操作**、方便、真空度好，极限真空度可达20KPa，密封性好，真空保持时间长。该气氛可充入高压气体，气氛压力极限值0.1MPa，采用独特的密封技术，可长时间保压，案例性能好，操作方便。
退火炉采用双层壳体结构和40段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用进口1900型氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用外壳整体密封、盖板密封采用硅胶泥、炉门采用硅胶垫并通有水冷系统，气体经过流量计后由后膛进出，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校科研院所、工矿企业做气氛保护烧结、气氛还原用的理想产品。
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型号 |
炉膛尺寸D×W×H |
额定功率 |
*高 温度 |
额定 温度 |
加热元件 |
电压 |
升温速率 |
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LTQ1800-30 |
300×150×150mm |
8KW |
1800℃ |
1700℃ |
硅钼棒 |
220V |
≤20℃/min |
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LTQ1800-30 |
300×200×200mm |
10KW |
1800℃ |
1700℃ |
硅钼棒 |
220V |
≤20℃/min |
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LTQ1800-30A |
400×250×250mm |
13KW |
1800℃ |
1700℃ |
硅钼棒 |
380V |
≤20℃/min |
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LTQ1800-40 |
400×300×300mm |
22KW |
1800℃ |
1700℃ |
硅钼棒 |
380V |
≤20℃/min |
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LTQ1800-50 |
500×300×300mm |
28KW |
1800℃ |
1700℃ |
硅钼棒 |
380V |
≤20℃/min |
