蓝宝石退火
蓝宝石晶体(Al2O3)是超高亮度的蓝、白光LED发光材料GaN常用的衬底材料, 而GaN嘉晶的晶体质量与所使用的监宝石衬底(基板)表面加工质量密切相关,尤其是图形化衬底(PSS)与晶片的表面形貌、翘曲程度联系密切,同时,晶片的翘曲程度过大,会在平片做GaN磊晶时,平片与外延薄膜脱落,PSS难以聚焦,影响外延品质。在蓝宝石衬底的切害I]、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中,尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放,但是这种应力释放是无序释放,同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚,影响蓝宝石晶片的翘曲程度,严重的翘曲会在后道加工过程产生破片,影响整个加工循环的晶片质量。蓝宝石衬底在加工过程中,必须经过退火处理以降低加工应力,目前的退火工艺采用一步升温至退火温度,未经过过程保温,加工应力释放不均匀,且蓝宝石晶片在退火炉中始终不动,炉子的温度场对加工释放均匀性影响极大,对大尺寸的蓝宝石晶片影响更为明显。
3.如权利1要求所述的ー种蓝宝石晶片的退火方法,其特征在于高温保温结束后,以每小时10°C 50°C降温至室温出炉。
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