一种场致发射型的EPMA(电子探针微量分析仪),SEM使用模式中,反射电子像观察,元素分析和与5CH WDS化学位移(扫描电子显微镜)二次电子图像(波长色散X-射线光谱仪)可以进行使用EDS(能量色散X射线光谱法)的测量,元素分析,阴极发光测量,组合这些的组成映射。它用于分析界面状态和工件的失效分析。
尽管在发展的领域中进行主要是利用EPMA分析,在该领域,如质量保证我们诸如通过执行利用SEM的组成分析的接受原料质量确认。
ToF - SIMS(飞行时间二次离子质谱仪) 通过溅射分析醉外表面上的组分 存在于样品醉外表面上的分子和用于测量其分布的装置。 通过照射离子束的溅射显影取出的样品的醉外表面的成分在以与质量相对应的速度在设备中飞行后被引入检测器。 从检测到的时间开始,在仪器中以与质量相对应的速度飞行后,将成分引入检测器。从检测到的时间开始,可以通过扫描离子束获得成分的分子信息(质谱)和映射图像(分布)。我们主要用它来分析客户的设备。
存在于样品醉外表面上的分子和用于测量其分布的装置。
通过照射离子束的溅射显影取出的样品的醉外表面的成分在以与质量相对应的速度在设备中飞行后被引入检测器。
从检测到的时间开始,在仪器中以与质量相对应的速度飞行后,将成分引入检测器。从检测到的时间开始,可以通过扫描离子束获得成分的分子信息(质谱)和映射图像(分布)。我们主要用它来分析客户的设备。
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