用于研发“成套工具”的成膜装置

用于研发“成套工具”的成膜装置

用于研发应用的真空成膜设备。它*适合那些以低成本寻找溅射，气相沉积设备，等离子处理设备（表面改性，有机物去除等）的人。它是一种成膜设备“套件”，可以根据研发需要购买。用于研发“成套工具”的成膜装置

应用实例

成膜装置“套件”概要用于研发“成套工具”的成膜装置

1. 室单元：室，闸阀，溅射源（或蒸发源或等离子源），观察口，样品台（选项：加热或冷却，射频应用）
2. 排气装置：油旋转泵，涡轮分子泵（或油扩散泵+阀门），安装座等
3. 真空管道:(带压力表端口，排气阀，进气口）
4. 真空计1：皮拉尼真空计
5. 真空规2：热阴极电离真空规（BA规）
6. 真空规3：隔膜规用于研发“成套工具”的成膜装置
7. 电源单元：用于溅射的直流电源（或用于溅射的RF电源+匹配盒或电阻加热蒸发电源）
8. 气体引入装置：质量流量控制器（或针阀组）
9. 样品运输机器人（手动型）
10. 负载锁定和传输室:(用于4个室或6个室）盖子，粗抽阀，排气阀，安装