佐藤液氮冷阱和Foreline trap
它可以防止油从真空排气管中产生的泵反向扩散,在超高真空管线中,通过吸附水等有效地提高极限压力。油扩散泵排气设备,真空蒸发设备等都被采用了很多。佐藤液氮冷阱和Foreline trap
它是一种防止油在高真空中反向扩散进入腔室的陷阱。采用分子筛13X(合成沸石),许多分子尺寸的孔吸附大量的水蒸气和油蒸气。元件加热可以使用内置加热器进行再生。
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