适用于至大8英寸的晶圆。 晶圆边缘处的薄膜切割精度实现了距离边缘127微米以内的高精度。此外,工作时间也有助于约20秒来粘贴/切割一张纸,并且还提高了工作效率。 薄膜分离器绕组/静电对策也是可能的。
型号3200:至大6英寸 3250型:它可以支持至大8英寸 的晶圆。 晶圆边缘处的薄膜切割精度实现了距离边缘127微米以内的高精度。 此外,工作时间也有助于约20秒来粘贴/切割一张纸,并且还提高了工作效率。 薄膜分离器绕组/静电对策也是可能的。 ●均匀无气泡粘贴 ●可在距离晶圆边缘127μ的范围内高精度切割● 也可沿边缘切割定向平面部分
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