基于多年的技术积累和众多销售业绩,HS-1840晶圆扩展装置从客户的角度发展而来。 它具有出色的易用性,准确性和多功能性。
通过采用电机驱动,可以实现1mm单位的行程设定,实现更高精度的扩展。 更换环尺寸只能通过夹具更换,铝制重塑环,夹环,特殊规格环等可根据客户需求进行修改。
●通过触摸面板控制 ●膜预热机构(与定时器) ●阶段加热(*高100℃) ●阶段行程调整机构(大80毫米,1毫米范围) ●阶段上升速度可变机构 ●膜自动切断机构 的大●晶圆尺寸8英寸 ●各种膨胀环,框���兼容 ●通过电机驱动升高平台,可实现高精度行程设定
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