需要高真空度时采用的真空泵可以低廉地获得10 -5 Pa。由从喷嘴喷射的加热的扩散油产生的超音速喷射射流排出到高真空区域。不能单独操作,使用旋转泵作为油旋转真空泵的组合。请参考真空系统内部的高真空抽空系统,将产品组合成排气装置。
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