爱德华爪式真空泵维修装配步骤：
(1)擦净零件，疏通油孔
(2)把旋片及弹簧装入上等转子槽内后，把上等转子装入泵身内，装上上等泵盖、肖、螺钉、键、轴套等，用手旋转，应无滞阻和明显轻重。
(3)低级转子装配同上。
(4)装止回阀叶轮部件，应使止回阀平面对准进油咀孔二用于轻轻挡住叶轮并旋转转子，油孔应时开时闭，调整阀头平面*大开启高度为0. 8-1. 1mm.
(5)装上泵部的排气阀、挡油板等零件。
(6)把泵部件、键、轴套、电机装在支座上。
(7)装油箱。
(8)插入进气咀、气镇阀、装上压板，螺钉紧固。
注意:
(1)装配时，各摩擦面应涂上清洁的真空泵油。
(2)记住零件的原装配位置，可减少跑合时间。
(3)紧固体应无松动，紧固时应均匀施力。
(4)对磨损零件应检查，并酌情修理或调换。
(5)总装结束后，可以从泵进气口加入少量泵油，然后用手转动，转动时，手的感觉应是阻力均匀，无明显阻滞现象。
(6)观察运转情况和泵口测量极限真空，不合要求时，应加以调整。
(7)在检修泵的同时，亦应对系统管道，阀门和电机等加以清理检修。
Edwards爱德华真空泵维修型号：
EDWARDS爱德华EM 系列 ：
E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12, E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275, E-Lab2，
EDWARDS爱德华RV 系列：RV3, RV5, RV8, RV12，
EDWARDS爱德华EH 系列：EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200，
EDWARDS爱德华QMB 系列：QMB-250, QMB500, QMB1200
EDWARDS爱德华 GV80 GV160 GV250 GV400 GV260M GV410M GV600M
干泵系列ADS602H,ADS602P,ADS1202H,ADS1802H,ADS1803H,A300，ACP28，ACP81,ACP40，ACG120等。
爱德华爪式真空泵维修
