KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
SDE系列
*高抽速可达200,000 L / min级
适用于大型晶圆/ FPD基板
回应每个过程
值得信赖的真空技术。 一个多样化的产品组，具有**的动力。
Kashiyama Industry的产品赢得了客户的广泛信赖，包括半导体和液晶制造领域。
我们多年来培养的真空技术已成为这种信任的基础。
特别是，一系列干式泵已成为半导体制造工艺的标准，是一种可以说是这种真空技术的高潮的产品，并且得到了客户的高度赞誉，它在*困难的工艺中表现出*可靠的性能。。
不仅是干泵，还有机械增压泵，真空排气设备等。由Kashiyama的真空技术生产的产品组在多个领域展示了它的强大功能。
特点
采用优良的仓库性能的立式螺丝
结构材料和温度设定导致的高耐腐蚀性
仕様 / 型式 *1
SDE1220
SDE20M20
SDE30M20
SDE4060
SDE4030M20
SDE8060
SDE804060
*大排気速度
20,000
30,000
50,000
60,000
80,000
120,000
190,000
[L/min] *2
到達圧力
0.5
0.8
0.5
0.8
0.5
[Pa] *2
電源電圧
3相 AC200～220V, 380～480V
(50/60Hz)
外観寸法 [mm]
W:400
W:450
W:450
W:750
W:800
W:850
W:1000
W*H*L *3
H:780
H:950
H:950
H:1200
H:1580
H:1220
H:1980
L:930
L:1000
L:1000
L:1600
L:1320
L:1600
L:1850
