产品详情
简单介绍：
KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。
详情介绍：
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
MU-P / H系列
罗茨式干式真空泵，工艺耐受性优异，节能。
它可用于从轻载到中载的各种应用中。
为了进一步提高工艺阻力，可以安装HOT-N 2吹扫。 [MU-H系列]
值得信赖的真空技术。 一个多样化的产品组，具有**的动力。
Kashiyama Industry的产品赢得了客户的广泛信赖，包括半导体和液晶制造领域。
我们多年来培养的真空技术已成为这种信任的基础。
特别是，一系列干式泵已成为半导体制造工艺的标准，是一种可以说是这种真空技术的高潮的产品，并且得到了客户的高度赞誉，它在*困难的工艺中表现出*可靠的性能。。
不仅是干泵，还有机械增压泵，真空排气设备等。由Kashiyama的真空技术生产的产品组在多个领域展示了它的强大功能。
特点
采用优良的仓库性能的立式螺丝
结构材料和温度设定导致的高耐腐蚀性
| 仕様 / 型式 | MU100P/H | MU180P/H | MU300P/H | MU600P/H | MU1200P/H | MU20M18P/H |
| *大排気速度 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| [L/min] *2 | ||||||
| 到達圧力 | 3 | 5 | 0.5 | |||
| [Pa] *2 | ||||||
| 電源電圧 | 3相 AC200～220V *3 | |||||
| (50/60Hz) | ||||||
| 消費電力 | 0.7 | 1 | 0.9 | 0.95 | 1.05 | 2 |
| [kW] *4 | ||||||
| 外観寸法 [mm] | W:350 | W:360 | W:350 | W:350 | W:380 | W:500 |
| W*H*L *5 | H:360 | H:408 | H:520 | H:520 | H:655 | H:950 |
| L:630 | L:715 | L:630 | L:630 | L:820 | L:1100 | |
| 質量 [kg] | 70 | 130 | 110 | 130 | 185 | 340 |
