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产品资料

COMITRONIC–BTI法国进口IMS5600-DS白光干涉仪

COMITRONIC–BTI法国进口IMS5600-DS白光干涉仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：COMITRONIC–BTI法国进口IMS5600-DS白光干涉仪
  • 产品型号：IMS5600-DS
  • 产品展商：COMITRONIC–BTI法国进口
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
新型白光干涉仪IMS5600-DS用于至高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估功能的特殊校准，并可实现亚纳米级分辨率的绝 对测量。干涉仪用于具有至高精度要求的测量任务，例如电子和半导体生产。
产品描述

COMITRONIC–BTI法国进口IMS5600-DS白光干涉仪




产品特点：

  1. 亚纳米级精度的距离测量
  2. 同类至佳：分辨率 30 皮米
  3. 绝 对测量，适用于阶梯轮廓
  4. 紧凑而坚固的传感器，偏移距离大
  5. 测量速率高达 6 kHz，用于高速测量
  6. 通过 Web 界面轻松配置
  7. 适用于真空的传感器和电缆
  8. 紧凑型传感器，也具有 90°光束路径






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