COMITRONIC–BTI法国进口IMS5420-TH白光干涉仪 IMS5420-TH 工品汇科技（深圳）有限公司

COMITRONIC–BTI法国进口IMS5420-TH白光干涉仪

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：COMITRONIC–BTI法国进口IMS5420-TH白光干涉仪
产品型号：IMS5420-TH
产品展商：COMITRONIC–BTI法国进口
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简单介绍

该IMS5420是一款高性能白光干涉仪，用于单晶硅片的非接触式厚度测量。该控制器具有波长范围为 1,100 nm 的宽带超发光二极管（SLED）。这样，只需一个测量系统即可测量未掺杂、掺杂和高掺杂的 SI 晶圆的厚度。该IMS5420可实现小于 1 nm 的信号稳定性。厚度可以从 24 毫米的距离测量。

产品描述

COMITRONIC–BTI法国进口IMS5420-TH白光干涉仪

产品特点：

未掺杂、掺杂和高掺杂晶圆的纳米级厚度测量
多峰：采集多达 5 层，SI 厚度为 0.05 至 1.05 mm
1 nm z 轴的高分辨率
测量速率高达 6 kHz，可实现快速测量
以太网 / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
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