静电所引起的灾害及消除方法
静电所引起的灾害及消除方法
一.静电引起的灾害
1. 静电力(吸引力、排斥力)
带电体会对附近的物体,产生吸引力或是排斥力。
(1)吸附污垢造成产品品质恶化。
(2)使薄膜(film)等吸附于生产装置上,而无法作业。
(3)因为无法剥离而造成作业效率变差,而无法作业。
2.破坏半导体
(1)静电感应所造成的破坏
半导体组件的模块部带电
↓
使内部的组件产生静电感应
↓
产生破坏,造成内部的耐压不佳
以数V至数+V的程度,破坏CPU(操作数件)、MR(磁阻组件)雷射二极管等物体。
(2)放电所造成的破坏
半导体组件的模块部带电
↓
使半导体的Pin产生静电感应
↓
对Pin附近的接地(earth)产生
放电破坏半导体的绝缘
静电所引起的灾害及消除方法
二.消除静电的方法
1.加湿
2.使用防止带电的材料
3.涂抹防止带电剂
4.使用带电的电力,**静电
5.使用高电压,**静电
6.使用紫外线,**静电
7.使用软X线(soft-X-ray),消除静电
8.使用放射线,消除静电
静电所引起的灾害及消除方法‘’
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