LGH (0.01µm 分辨力、0.005µm 分辨力)
• 在 10mm 的宽范围内实现了与激光干涉仪相同的 0.005µm 或 0.01µm 的高分辨力和高精度。
• 紧凑性的机身使得装置本身小型化，不仅 可以作为高精度零部件的测量以及高精度 定位 · 控制装置长度测量的传感器，还适用于作为各种测量机的标准规。
• 也具有低测力规格产品 ：根据用途可以选 择低测力规格，可以测量易变形工件和高 性能胶片等。
规格
分辨力 0.005µm、指示精度 0.1µm 类型
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货号 |
542-720 (标准型) |
542-721 (低测力型) |
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型号 |
LGH-0510-B-EH |
LGH-0510C-B-EH |
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测量范围 |
10mm |
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分辨力 |
0.005µm (0.01, 0.05, 0.1µm 用计数器可切换) |
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指示精度 (20ºC)*1 |
0.1µm |
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重复精度 (20ºC)*1 |
0.02µm (2σ) |
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量化误差 (20ºC)*1 |
0.05µm |
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测力 |
测杆朝下 |
0.65N 以下 |
约 0.1N |
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测杆水平 |
0.55N 以下 |
使用不可 |
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测杆朝上 |
0.45N 以下 |
使用不可 |
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位置检出方式 |
超高精度透射型线性编码器 |
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响应速度 |
250mm/sec |
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重量 |
约 370g |
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测头 |
硬质合金 SR5 (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 标准测头 No.120058 |
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装夹套筒 |
ø15mm |
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轴承类型 |
高精度线性滚珠轴承 |
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输出电缆长度 |
约 2m |
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运行温度 (湿度) 范围 |
15ºC ～ 25ºC (基准温度度 20ºC) / 30 ～ 60％ RH (无冷凝) |
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存储温度 (湿度) 范围 |
− 10ºC ～ 60ºC / 20 ～ 80％ (无冷凝)*2 |
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计数器规格 |
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显示范围 |
±99.999995mm |
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功能 |
调零、预调、方向转换、公差判定 (3 段 /5 段)、RS-RINK |
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峰值保持功能 |
× |
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接口 |
RS-232C、USB (SENSORPAK 专用)、Digimatic 输出 ( 打印机 ：** DP-1VA LOGGER)，I / O 电缆 |
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外部出力 |
・RS-232C ：计数数据 · Digimatic 输出 ：计数数据 ・I / O 电缆 ：计数数据 (简易 BCD)，公差判断结果，简易模拟输出 |
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外部控制 |
调零、预调、数据保持 |
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电源 |
附带 AC 适配器 , DC ＋ 12 ～ 24V, MAX700mA |
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功耗 |
8.4W (*大 700mA) 每个装置的可靠供电应在 1A 以上 |
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重量 |
约 900g (不包括 AC 适配器) |
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标准配件 |
扳手 (用于更换测头)，橡胶脚垫，支架，垫圈 (用于计数器)，AC 适配器， 交流电源线，DC 插头，用户手册，检验证书 |
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