178 系列 — CNC 表面粗糙度测量仪
● X1,Y和Z2轴的驱动速度*高可达200mm/ 秒，实现高速定位，满足多轮廓/多工件 的测量任务。
● 通过X轴与Y轴方向二轴同步控制可进行 倾斜平面测量。 * 使用SV-3000CNC时，需要Y轴桌台(可 选)。
● 配有α轴的机型，通过电动倾斜驱动装 置可对水平或倾斜表面进行连续测量。
● 装配Y轴工作台的机型，可通过Y轴轴向 定位，扩展到多工件测量。
● Z1-轴检出器可选择4mN或0.75mN的测量 力。
● 所有连接电缆均内置于测量仪器，以消 除测量过程中的不便之处。
规格
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X1轴 (驱动部) |
测量范围 |
200mm |
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分辨力 |
0.05µm |
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长度基准 |
反射型线性编码器 |
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驱动速度 |
CNC |
*大200mm/s |
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操纵杆 |
0 - 50mm/s |
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测量速度 |
0.02，0.05，0.1，0.2，0.5，1.0，2.0mm/S |
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直线度 |
使用标准检出器 |
0.5µm/200mm |
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使用长程检出器 |
0.7µm/200mm |
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使用旋转型 |
上/下方向 |
0.5µm/200mm |
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检出器 |
前/后方向 |
0.7µm/200mm |
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Z2轴 (立柱) |
测量范围 |
500mm |
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分辨力 |
0.05µm |
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长度基准 |
反射型线性编码器 |
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驱动速度 |
CNC |
*大200mm/s |
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操纵杆 |
0 - 50mm/s |
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Y轴 |
测量范围 |
800mm |
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分辨力 |
0.05µm |
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长度基准 |
反射型线性编码器 |
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驱动速度 |
CNC |
*大200mm/s |
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操纵杆 |
0 - 50mm/s |
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测量速度 |
0.02 - 2mm/s |
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直线度 |
使用标准检出器 |
窄范围 |
0.5µm/50mm |
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宽范围 |
2µm/800mm |
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使用长程检出器 |
窄范围 |
0.7µm/50mm |
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宽范围 |
3µm/800mm |
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使用旋转型检出器 (上/下方向) |
窄范围 |
0.7µm/50mm |
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宽范围 |
3µm/800mm |
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基座装置 |
基座尺寸 (W×D) |
600×1500mm |
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基座材料 |
钢 |
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*大台面承重 |
300kg |
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