●检出器的延伸量：*大70mm(可固定 在所需的位置)。
规格
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货号 |
CS-3200S4 |
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测量范围/ 分辨力 |
X轴 |
100mm/0.05µm |
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Z1轴 (检出器) |
5mm/0.08µm |
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0.5mm/0.008µm |
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0.05mm/0.0008µm |
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Z2轴 (立柱) |
300mm/1µm |
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精度 (20ºC) |
X轴 |
±(0.8+0.01L)µm (L= 测量长度(mm)) |
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Z1轴 (检出器) |
±(1.5+|2H|/100)µm H= 水平位置上的测量高度 (mm) |
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驱动部 |
直线度 (X轴) |
正常使用下 |
0.2µm/100mm |
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当伸出到*大程度 |
0.4µm/100mm |
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测量速度 |
表面粗糙度测量 |
0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (4级) |
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轮廓测量 |
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (7级) |
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驱动速度 |
X轴 (水平方向) |
0-80mm/s外加手动 |
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Z2轴 (垂直方向) |
0-20mm/s外加手动 |
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上/下移动 |
300mm (电动) |
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倾角范围 |
±45º |
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检出器 |
检出方式 |
差动感应 |
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测力 |
0.75mN |
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测针名称 |
标准测针 (用于粗糙度/轮廓测量) |
针尖角度: 60º 圆锥, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖 |
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圆锥型 (用于轮廓测量) |
针尖角度: 30º 圆锥, 针尖半径: 25µm, 蓝宝石针尖 |
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测针上/下运作 |
适用 (可在半空停顿) |
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