●带α轴的机型可电动倾斜X1轴，对水平 面、倾斜面进行连续测量。并且，轮 廓用Z1轴检出器的测量力具有自动调 整功能，在X1轴倾斜时可以按照指定 测量力进行自动测量。
●带Y轴工作台的机型可以进行多工件连 续测量等任务，通过Y轴轴向定位，可 扩大测量范围。
●Z1轴检出器内置了防撞**装置，因 此万一遇到检出器主体与工件将要碰 撞的情况，将自动停机。
规格
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型号 |
SV-C4500CNC |
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X1轴 |
测量范围 |
200mm |
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分辨力 |
0.05µm |
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长度基准 |
反射型线性编码器 |
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(驱动部) |
轮廓形状 |
直线度 |
2µm/200mm |
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指示精度 (20ºC) |
±(0.8+4L/200)µm L: 测量长度 (mm) |
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表面粗糙度 |
直线度 |
0.5 µm/200mm |
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Z1轴 (检出器) |
轮廓形状 |
测量范围 |
60mm (±30mm水平方向) |
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分辨力 |
0.02µm |
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长度基准 |
圆弧形标尺 |
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指示精度 (20ºC) |
±(0.8+|2H|/100)µm H: 水平位置上的测量高度(mm) |
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表面 粗糙度 |
测量范围 |
800µm/80µm/8µm |
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分辨力 |
0.01µm/0.001µm/0.0001µm |
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Z2轴 (立柱) |
测量范围 |
300mm或500mm (根据所选规格不同) |
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分辨力 |
0.05µm |
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