产品名称：ACHILLES阿基里斯导电晶圆传输系统MA系列

晶圆传输系统一种紧凑的传输载体，可在传输过程中保护硅晶圆免受冲击和静电影响。 此外，垫片和垫子也经过抗静电处理，使其成为一个干净，**的整体系统。

晶圆传输系统电子零件
Protos Carrier MA系列清洁和低释气导电材料（ST poly）使其在储存期间可**放气。

晶圆运输箱

品番	MA-5(5インチキャリア) MA-6S(6インチスリムキャリア) MA-8(8インチキャリア) MA-8S(8インチスリムキャリア) MA-12(12インチキャリア)
特長	二重構造設計で耐衝撃性が高く、内部のウエハーを厳重に 保護します。 自動機(ロボット)でウエハーの出し入れが出来ます。 蓋裏に3.5インチデータフロッピーの収納可。 (8インチのみ) 蓋と本体は回転脱着式です。 段積みが可能。
表面抵抗値	1×106Ω以下
材質	導電性PP

规格

品番	ウエハーの径	H (mm)	h (mm)	D (mm)	A (mm)
MA-5	5インチ	90	50	128±1	150
MA-6S	6インチスリム	63	38	153±1	175
MA-8	8インチ	103	54	203±1	226
MA-8S	8インチスリム	65	38	203±1	226
MA-12	12インチ	76	44	302±1	328

1件装晶圆盒

品番	MA-12/ONE-SP(with separate-type blue clips) MA-12/ONE-FX(with fixed-type black clips)
特長	12inchウエハーを1枚で搬送可能です。 クリーン導電材（STポリ）を使用しています。 重ねて保管・輸送が可能です。 試作用ウエハー搬送に*適です。
表面抵抗値	1.0×107Ω以下
材質	本体　導電性PC 青クリップ　導電性PC 黒クリップ　導電性PP