产品详情
简单介绍：
ACHILLES阿基里斯新型隔离垫PEA/CPS
ACHILLES阿基里斯新型隔离垫PEA/CPS
详情介绍：
它是一种具有低颗粒和低离子污染的新型隔离物，可在Protoss Spacer运输过程中通过抗静电措施**地保护硅晶圆。
PEA类型
| 品番 |
PEA-4-350 PEA-5-350 PEA-6-350 PEA-8-350 PEA-12-350 |
|---|---|
| 特長 | 低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。 |
| 材質 | 帯電防止ポリエチレン |
| 表面抵抗値 | 1×1012Ω以下 |
| 規格 |
シート厚みは100㎛、 エンボス高さ含み350㎛ |
| 品番 |
CPS-4-250 CPS-5-250 CPS-6-250 CPS-8-250 CPS-12-250 |
|---|---|
| 特長 | 低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。 |
| 材質 | 帯電防止ポリエチレン |
| 表面抵抗値 | 1×109Ω以下 |
| 材質 |
シート厚みは100㎛、 エンボス高さ含み250㎛ |
