产品详情
简单介绍：
KOYO光洋卧式炉200型系列
KOYO光洋卧式炉200型系列
详情介绍：
从小型实验、研究(R&D)到批量生产，能够根据需要进行装置设计。
硅谷就不用说了。
硅谷就不用说了。
太阳能电池、太阳能发电(PV)的生产用途也能使用的横型炉。
特点
根据您的要求量身定制的设备建议书，从小型实验到批量生产
处理25至150张的批次
1至4级炉配置，以适应空间
支持2到8英寸和300毫米的各种晶圆尺寸
LGO加热器适用于中低温度范围，HGC加热器适用于高温范围，优异的温度特性
根据应用，空间和预算要求定制规格的设备提案
控制系统为功能量身定制
卧式炉可根据客户要求设计，支持从研发到大规模生产3英寸，4英寸，6英寸8英寸晶圆，125平方毫米，156毫米方形单元尺寸。。 它不仅可用于硅晶片，还可用于太阳能电池（太阳能）和光伏（PV）生产。使用氯氧化磷（POCl3），三溴化硼（BBr3），硼扩散，热解的磷扩散 可以进行氧化，湿氧化，干氧化，退火等。
规格
| 加热器 | LGO加热器、HGC加热器 |
|---|---|
| 均热长度( mm ) | 250至800 |
| 晶片尺寸( mm ) | 300 |
| 温度控制 | 三区 |
| 输送装置 | 船式电梯、船式装载机、悬臂装载机、软装载机 |
| 用途 |
氧化扩散(磷扩散、硼扩散、固化氧化、 湿式氧化、干式氧化)、退火处理 |
| 处理相关项目 | 氯氧磷( POCl )3三溴化硼( BBr )3） |
| 处理品 |
3英寸、4英寸、6英寸、8英寸硅晶片、125mm见方， 156mm见方PV电池 |
