产品详情
简单介绍：
KOYO光洋用于光伏电池的卧式炉型号206A
KOYO光洋用于光伏电池的卧式炉型号206A
详情介绍：
卧式炉适用于太阳能电池（太阳能）和光伏（PV）电池制造。
能够处理100至156平方晶圆并批量处理200至400批。
特点
在日本有丰富的记录
兼容100mm至200mm方形晶圆
200-400批次（取决于浸泡长度和晶圆间距）
配备LGO加热器，可快速加热并节省能源
用于太阳能电池（太阳能）和光伏（PV）电池生产的卧式炉，支持125mm方形和156mm方形太阳能电池，以及6英寸和8英寸晶圆尺寸。 太阳能电池（太阳能）和光伏（PV）生产应用的理想选择，使用三氯氧化硼（POCl3），三溴化硼（BBr3），硼扩散，热解氧化，湿氧化，干燥的磷扩散 可以进行诸如氧化和退火的晶体处理。
规格
| 本体尺寸( mm ) | 850(W)×6700(L)×2500(H) (3段炉) |
|---|---|
| 加热器 | LGO加热器 |
| 均热长度( mm ) | 1000 |
| 温度控制 | 三至五区 |
| 输送装置 | 小船装载机 |
| 用途 |
氧化扩散(磷扩散、硼扩散、固化氧化、 湿式氧化、干式氧化)、退火处理 |
| 处理相关项目 | 氯氧磷( POCl )3三溴化硼( BBr )3） |
| 处理品 |
3英寸、4英寸、6英寸、8英寸硅片125mm见方， 156mm见方PV电池 |
