产品详情
简单介绍：
KOYO光洋300mm晶圆兼容清洁烤箱SO2-12-F
KOYO光洋300mm晶圆兼容清洁烤箱SO2-12-F
详情介绍：
用于300mm（12英寸）晶圆的半导体制造的清洁炉。
FOUP兼容全自动清洁烤箱
50张/室
两个腔室可以用一个机器人扩展
每室2FOUP运行
FOUP可实现50张/腔的全自动加工。 用于低温加工，如聚酰亚胺固化。
FOUP兼容全自动清洁烤箱
50张/室
两个腔室可以用一个机器人扩展
每室2FOUP运行
使用双晶圆传输机器人进行高效晶圆传输
这是一款用于半导体制造的洁净烤箱，它采用了*畅销的FPD制造设备，单晶圆清洁烤箱的技术。 可实现300mm（12英寸）FOUP兼容，全自动操作，可处理50张/ 1腔室，并可扩展至2腔室。 （每个腔室以2 FOUP运行）通过聚酰亚胺固化等低温处理实现高通量和短生产节拍时间。
规格
| 本体尺寸( mm ) | 3300 ( w )×3105 ( d )×2200 ( h ) (双腔规格) |
|---|---|
| 加热方式 | 水平热风循环方式 |
| 加热器 | 铠装加热器 |
| 使用温度范围 | 70~450℃ |
| 均热长度( mm ) | 500 |
| 晶片尺寸( mm ) | 300 |
| 处理张数 | 50张/批 |
| I/O端口 | 2或4 |
| 晶片搬送 | 两片叶子 |
| 控制器 | 专用控制器 |
| 主机通信 | GEM300 |
| 设定 | 凹口眼线 |
| 用途 | (聚酰亚胺)固化，脱水 |
| 处理品 | 300毫米( 12英寸)晶片 |
