产品详情
简单介绍：
KOYO光洋照明(RTP)装置RLA-3100-V
KOYO光洋照明(RTP)装置RLA-3100-V
详情介绍：
可以处理隐形眼镜。GaN基板的处理也可能。
对应6英寸晶圆，在真空(LP)环境·N2路锁定气氛的活性化，氧化处理可能。
*高使用温度：1200℃
对应6英寸广泛的波纹尺寸
配备自动晶片装载机构，实现C to C搬送
真空対応特性向上
根据N2负载锁定对应实现短TAT
GaN基板的处理也可能
对应6英寸晶圆，在真空(LP)环境·N2路锁定气氛的活性化，氧化处理可能。
*高使用温度：1200℃
对应6英寸广泛的波纹尺寸
配备自动晶片装载机构，实现C to C搬送
真空対応特性向上
根据N2负载锁定对应实现短TAT
GaN基板的处理也可能
～6英寸晶圆可对应的灯架装置。采用了耐真空设计的石英管道可处理清洁真空(LP)环境，N2路锁定氛围。也可以GaN基板处理。
规格
| 使用温度范围 | 600~1200℃ |
|---|---|
| 晶片尺寸 | 6英寸 |
| 使用气体 | n2、Ar、o2h2 |
| 用途 |
接触退火、 氧化(减压中的处理，n2可在负载锁定环境中处理) |
