FF-10BT/CT1 化学溶液补给泵 IWAKI 易威奇
FF-10BT/CT1
产品特点
提高点胶性能:通过将排出量设定为每次注射1mL,与常规分配性能相比,分配性能显着提高。 通过在必要时注入必要的*小量,可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。 此外,可以抑制浓度的过冲,这导致洗涤溶液的成本降低。 另外,内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。
产品规格
一般规格 用途 薬液補充用途 排出量 1mL/shot *大排放压力 0.05MPa 处理液体温度范围 20~60℃ *大冲程数 30spm 供气压力 0.15~0.3MPa *大耗气量 2.5NL/min 接液部件材料 PTFE、PFA、PCTFE 泵连接端口直径 1/4”PFAチューブ(φ6.35×4.35) 供气连接口直径 Rc1/8 重量 1.1kg 光传感器规格 形式 透射式微光电传感器 电源电压 5~24V DC±10% 输出格式 NPN晶体管·集电极开路 允许电流 50mA以下 代码 PVC 4芯电缆外径φ5.2mm电缆长度5 m带圆形端子(0.5 - 4)