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产品资料

SMC-深冷器（循环液温调装置）-深冷器/高性能变频型 HRZ 系列

SMC-深冷器（循环液温调装置）-深冷器/高性能变频型 HRZ 系列
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：SMC-深冷器（循环液温调装置）-深冷器/高性能变频型 HRZ 系列
  • 产品型号：HRZ 系列
  • 产品展商：SMC 西姆斯
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
SMC-深冷器（循环液温调装置）-深冷器/高性能变频型 HRZ 系列 ・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能。 ・温度范围和冷却能力范围大。 ・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化。 ・符合UL, SEMI规格及CE标识。
产品描述
深冷器/高性能变频型 HRZ


・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能。
・温度范围和冷却能力范围大。
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化。
・符合UL, SEMI规格及CE标识。
系列 设定温度
范围 		冷却能力 温度
稳定性 		冷却方式 循环液
HRZ －20～90℃
10～60℃ 		10kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

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