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产品资料

SMC-缝阀／门式阀-缝阀 XGT 系列

SMC-缝阀／门式阀-缝阀 XGT 系列
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：SMC-缝阀／门式阀-缝阀 XGT 系列
  • 产品型号：XGT 系列
  • 产品展商：SMC 西姆斯
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简单介绍
SMC-缝阀／门式阀-缝阀 XGT 系列 ・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
产品描述
缝阀 XGT


・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
系列 使用压力范围（Pa） 使用流体 门尺寸
（高×宽）（mm） 		动作压力
（MPa）
XGT 大气压～1×10-6 惰性气体类的真空 32×222
46×236
50×336 		0.45～0.6

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