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分子泵组的介绍

日期：2024-09-02 06:14
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摘要：
 
分子泵组是分子泵与前级泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6～大气) 工作。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：
1.牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2.涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3.复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6～1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。




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