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如何对真空镀膜设备进行全方面的维护

日期：2024-07-28 11:16
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摘要： 真空镀膜设备不间断使用十二个月以上，里面的抽速就会变慢，这就要及时的做清洗工作，那么如何对真空镀膜设备进行全方面的维护呢？成越科仪推荐的以下方法大家可要记住了！ 首先充入大气，拆去联结水管，卸去电炉盘和喷嘴，泵腔及泵胆分三次清洗，先用汽油将清洗一遍，再用洗衣粉清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净。 等到晒干之后，重新加入泵油，装好泵胆，并装回机体，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进...
       真空镀膜设备不间断使用十二个月以上，里面的抽速就会变慢，这就要及时的做清洗工作，那么如何对真空镀膜设备进行全方面的维护呢？成越科仪推荐的以下方法大家可要记住了！

       首先充入大气，拆去联结水管，卸去电炉盘和喷嘴，泵腔及泵胆分三次清洗，先用汽油将清洗一遍，再用洗衣粉清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净。

       等到晒干之后，重新加入泵油，装好泵胆，并装回机体，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

       真空镀膜设备每完成二百个镀膜程序以上，应清洁工作室一次，镀膜设备厂家表明用烧碱饱和溶液反复擦洗真空室内壁，注意**不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤，目的是使镀上去的膜料铝与烧碱发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

      真空镀膜设备里面的粗抽泵连续工作三十天就要换新油，将泵内的旧油全部排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量。

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