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精密旋转涂膜机的主要特点介绍

日期：2024-07-28 11:17
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摘要：
    精密旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。设备标配两个不同大小的真空吸盘，可根据样品尺寸不同选择不同的真空吸盘。

主要特点

    1、真空吸附方式固定样件，操作简便。

    2、真空度可以达到-0.08MPa。

    3、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。

    4、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。

    5、电机采用24V直流无刷电机，无级调速，可靠性高，适应性强，维修与保养简单，噪音低，震动小，运转平稳，启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

    6、采用无油双杠真空泵，体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。

    7、腔体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能；机身采用铸铝结构，结实耐用且质轻。

    8、可在惰性气体气氛（如Ar、N2）下进行涂层。

    9、全英文操作系统。

    10、具有开盖保护功能，当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止。

    11、控制界面采用液晶显示屏+单板机控制系统，数值显示更直观可靠。

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