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○ 产品介绍
TN-GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜*大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
○ 适用范围
广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
○ 技术参数
功能
双通道
三通道
四通道
五通道
质子流量控制器
工作温度:5~45ºC
工作温度:5~45 ºC
工作温度: 5~45 ºC
工作温度: 5~45 ºC
输入电源
AC 220V/50Hz单相
功率
23W
PLC触摸屏
各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制
机械压力表
有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
针阀
316 不锈钢
通气管道
内部连接管道为1/4”不锈钢管
外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐
Φ80X120mm
截止阀及配件
316不锈钢针阀
外形尺寸
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
质量认证
CE认证
质保期
一年质保期,终身维护
*大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
*大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
*大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
*大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制
Φ1/4” 不锈钢管
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