产品名称：FF-40HT1 化学溶液补给泵 IWAKI 易威奇

型号：FF-40HT1型

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商品品牌：IWAKI 易威奇
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FF-40HT1 化学溶液补给泵 IWAKI 易威奇

发布时间 : 2024-10-21 07:24

FF-40HT1 化学溶液补给泵 IWAKI 易威奇

简单介绍：

化学溶液补给泵| CFD 每次注射1 mL，点胶性能大幅提升通过将排出量设定为每次注射1mL，与常规分配性能相比，分配性能显着提高。通过在必要时注入必要的*小量，可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。此外，可以抑制浓度的过冲，这导致洗涤溶液的成本降低。另外，内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。

详情介绍

产品特点

提高点胶性能：通过将排出量设定为每次注射1mL，与常规分配性能相比，分配性能显着提高。通过在必要时注入必要的*小量，可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。此外，可以抑制浓度的过冲，这导致洗涤溶液的成本降低。另外，内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。

耐腐蚀结构仪表：润湿部分由全氟聚合物（PTFE，PFA，PCTFE）制成，并且它可以对应于用于半导体应用的化学品，例如酸，碱和过氧化氢。此外，泵的外部采用树脂（PTFE，PFA，PP，PVC）和PTFE涂层螺钉，具有高耐腐蚀结构。
它对应于宽放电设置：通过拆下泵底部的盖子可以很容易地调整行程长度。每次注射*多可放电2.7 mL。（出货时，1毫升/次）
泄漏传感器标准设备：泄漏传感器即使在破碎的波纹管作为标准配置时也能快速响应。

产品规格

一般规格
用途	薬液補充用途
排出量	1mL/shot
*大排放压力	0.05MPa
处理液体温度范围	20～60℃
*大冲程数	30spm
供气压力	0.15～0.3MPa
*大耗气量	2.5NL/min
接液部件材料	PTFE、PFA、PCTFE
泵连接端口直径	1/4”PFAチューブ（φ6.35×4.35）
供气连接口直径	Rc1/8
重量	1.1kg

光传感器规格
形式	透射式微光电传感器
电源电压	5～24V DC±10％
输出格式	NPN晶体管·集电极开路
允许电流	50mA以下
代码	PVC 4芯电缆外径φ5.2mm电缆长度5 m带圆形端子（0.5 - 4）

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