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产品名称:IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
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- 商品品牌:IWAKI 易威奇
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IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
IWAKI 易威奇气动波纹管泵(FA-40VEW)
气动波纹管泵 FA系列 用于晶圆清洁,气动波纹管泵。 我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工,FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。
特点
1.我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工,FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。
2.FA - 40VEW型采用厚波纹管。 它是一种长寿命设计,具有出色的耐压性,可承受长期连续运行。
3.氟树脂用于所有润湿部件。 它是一种无污染的设计,不使用橡胶或金属,例如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。 此外,由于FF-H系列的主体和波纹管是完全焊接的,因此热循环不会有液体泄漏。
4.通过连接到专用控制器,可以轻松控制和管理排放量。
型 号
FA-2E-1
FA-40VEW
*大排放量 L/min
2
40
供气压力范围 MPa
0.2~0.4
0.1~0.4
液体温度范围 ℃
5~100
*大耗气量 NL/min
50
200
泵冲程数 spm
Max.150
Max.80
泵连接端口直径
Rc1/8
Rc1
空气连接口直径
Rc1/4
Rc3/8
环境温度℃
0~40
驱动方式
接近开关方法