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江崎推荐SONIC索尼克超音波微少液体流量计μLF-300S
μLF-300S超音波微少液体流量計
微少液体流量计μLF-300S(传感器分离型)
在IPA、纯水、药液等半导体制造工序中,对微小领域的流量管理
・从1ml/min开始的微量流量测量
・通过数字信号处理进行微少流量高精度测量
・传感器部分与流体非接触结构
・宽范围可用性
μLF-300S |
|
型式 |
μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch) |
測定原理 |
超音波伝播時間差方式 |
被測定液体 |
純水、水溶液、各種薬液 |
* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください |
|
適応流体温度範囲 |
15℃~80℃ |
* 60℃以上でご使用の場合は事前にご確認ください |
|
流体圧力 |
0.5MPa 以下 |
流体動粘度 |
100mm^2/sec 以下 |
流量範囲 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
|
測定精度 |
±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 条件:室温, 定温の水) |
±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) |
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±0.5%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min 条件:室温, 定温の水) |
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±4ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min) |
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繰返し性 |
±0.2% (純粋, 液温±0.5℃, 30秒平均値) |
電源 |
DC 24V ±10% |
消費電力 |
3.6W以下 |
重量 |
変換器 240g, 検出部 70g |
サイズ WxHxD(mm) |
変換器 97 x 49 x 127 |
検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず) |
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検出部 |
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チューブ素材 |
PFA (フッ素樹脂) |
チューブ径 |
1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
構造 |
IP65相当 |
付属ケーブル |
5m, コネクタ接続 |
入力部 |
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デジタル出力 |
4線式RS-422, 4線式RS-485 |
アナログ出力 |
4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下 |
積算パルス出力 |
1ch (オープンコレクタ) |
アラーム出力 |
1ch (オープンコレクタ) |
接点入力 |
1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア) |
キー入力 |
4入力ボタン |