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江崎推荐SONIC索尼克超音波微少液体流量计μLF-300S

日期:2024-08-15 12:21
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摘要: μLF-300S超音波微少液体流量計 微少液体流量计μLF-300S(传感器分离型) 在IPA、纯水、药液等半导体制造工序中,对微小领域的流量管理 ・从1ml/min开始的微量流量测量 ・通过数字信号处理进行微少流量高精度测量 ・传感器部分与流体非接触结构 ・宽范围可用性 μLF-300S 型式 μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-30...

μLF-300S超音波微少液体流量計

微少液体流量计μLF-300S(传感器分离型)

IPA、纯水、药液等半导体制造工序中,对微小领域的流量管理

・从1ml/min开始的微量流量测量

・通过数字信号处理进行微少流量高精度测量

・传感器部分与流体非接触结构

・宽范围可用性

μLF-300S

 

型式

μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch)

測定原理

超音波伝播時間差方式

被測定液体

純水、水溶液、各種薬液

* 水以外液体場合事前にご確認ください

適応流体温度範囲

15℃~80

* 60℃以上でご使用場合事前にご確認ください

流体圧力

0.5MPa 以下

流体動粘度

100mm^2/sec 以下

流量範囲

0 ml/min  1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)

0 ml/min  1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)

測定精度

±0.5%RD (1/8 inch : 200  1000ml/min 条件:室温, 定温)

±1ml/min (1/8 inch : 0  199ml/min)

±0.5%RD (1/4 inch : 800  4000ml/min 条件:室温, 定温)

±4ml/min (1/4 inch : 0  799ml/min)

繰返

±0.2% (純粋, 液温±0.5, 30秒平均値)

電源

DC 24V ±10%

消費電力

3.6W以下

重量

変換器 240g, 検出部 70g

サイズ WxHxD(mm)

変換器 97 x 49 x 127

検出部 90 x 25 x 20 (チューブまず)

検出部

チューブ素材

PFA (フッ素樹脂)

チューブ

1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm

構造

IP65相当

付属ケーブル

5m, コネクタ接続

入力部

デジタル出力

4線式RS-422, 4線式RS-485

アナログ出力

4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下

積算パルス出力

1ch (オープンコレクタ)

アラーム出力

1ch (オープンコレクタ)

接点入力

1ch (ゼロ流量設定又積算クリア)

キー入力

4入力ボタン


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