企业信息
第7年
- 入驻时间： 2018-09-17
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产品详情
简单介绍：
IR-200实时监测四氟化硅（SiF4）气体浓度，并根据 SiF4 气体浓度确定清洗终点。
详情介绍：
- 监测高达 5000 ppm 的 SiF4 浓度
- 紧凑设计
- 可安装至排气管路
- 除 SiF4 外，该气体监测仪还可用于测量 CIF3 和其他气体。
| 型号名称 | IR-200 |
|---|---|
| 测量气体 | 硅橡胶4气 |
| 测量范围 | 0 至 5000ppm（0 至 500Pa） |
| 重复性 |
±1%F.S. |
| 细胞长度 | 30 毫米，1.2 英寸 |
| 响应时间 | 30 秒或更短 （T90） |
| 耐压性 | 0.3MPa（A） |
| 气室加热温度 | 150 °C （*大值） |
| 触点材料 | SUS-316L、BaF2、FKM |
| 泄漏率 | 1×10-10帕・米3/秒 |
| 拟 合 | NW25 法兰 |
| 模拟输出 | 4 至 20 mA 直流 |
| 触点输出 | 3 个通道 （ERR、High、Low） |
| 联系人输入 | 1 个用于零点校准的通道 |
| 权力 | 24 V DC，30 W（*大） |
| 尺寸（宽 x 高 X 深） |
传感器：150×268×90 毫米/3.5x5.9x10.6 英寸 控制器：48×96×130 毫米 / 1.9x3.8x5.1 英寸 |
|
质量 |
传感器：4.5 公斤 / 9.9 磅 控制器：0.5 千克 / 1.1 磅 |
