产品名称：HORIBA堀场蒸汽浓度监测仪

• 实时监测
  快速响应和出色的重复性允许实时跟踪蒸汽浓度的变化
• 多重校准曲线功能（可选）
  允许测量多达 3 种化学品或量程的浓度
• 多重显示功能
  IR-300 设备顶部的多重显示功能为用户提供了浓度监测和前驱体供应管线状态的现场检查能力
• 通信功能
  通过 DeviceNet™、RS485 和模拟通信连接
• 设计简单紧凑
  该设备的面对面尺寸为 124 毫米，设计紧凑且不受安装方向限制，易于集成

高光强和长寿命光源与高速信号处理相结合，使 IR-300 系列能够对化学品浓度的变化做出更快、更可重复的响应。这些特性通过实时在线浓度测量，让用户真正了解实际制程。

MOCVD 化学品的测量示例

■实验流程图

■监测化学品浓度变化

以下是实时监测供应化学品浓度的示例，化学品浓度因背压调节器调节鼓泡器中的压力而改变。

测量技术

可靠、高性能
非分散红外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的红外吸收法利用测量红外光源发出的红外光中气体分子吸收的原理。将吸收了被测气体的样品输出与无吸光度的参考输出进行对比，并将结果转换成气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期稳定的测量结果。

光学系统由光源、气室和双光束检测器组成。双光束检测器的稳定性已得到 40 多年的验证。